Interferómetro de haz único y alta precisión para reflector plano, esfera o reflector hollow:
El haz del láser esta reflejado por el reflector  en su mismo.

Ventajas:

• La mejor linealidad.
• Medición también a través de ventanas pequeñas.
• En caso de utilizar espejos planos, es posible un movimiento lateral del espejo o del interferómetro ortogonal al eje de medición.
• En caso de usar esfera o reflectores hollow con alta invarianza de inclinación, el ajuste del interferómetro es muy fácil y además se consiguen distancias de medición mas largas.

Aplicaciones:

• Calibración de instrumentos de medición de longitud, medición de coordenadas múltiples como por ejemplo Mesas Planares, mediciones de excentricidad y concentricidad.

Interferómetro láser diferencial para máxima estabilidad para espejo plano o reflector esférico:
Interferómetro láser con al menos 2 rayos. Por diferencia de los dos haces, se determina la longitud.

Ventajas:

• La disposición del haz de referencia directamente al lado del rayo de medición minimiza las influencias ambientales.

Aplicaciones:

• Mediciones con el mayor requisito de estabilidad, mediciones a largo plazo.

Interferómetro láser simple y clásico con reflector de triple prisma:
El rayo láser reflejado se compensa lateralmente con el reflector de triple prisma y se devuelve en paralelo al rayo de salida.

Ventajas:

• Cabezal de sensor frío por  acoplamiento a través de fibra óptica completo.
• Ajuste simple del haz debido a la invarianza de inclinación del reflector de triple prisma (± 1.5 °).
• Sin pérdida de haz incluso ejes menos rectos.

Aplicaciones:

• Calibración de ejes o máquinas de medición de longitud.