SmartWLI extended

Instrumento de medición de superficie 3D autónomo, basado en interferometría de luz blanca.

El sistema incluye un revólver de Lentes y una mesa-XY motorizada.

Esto también permite medir las superficies en un área grande (Stitching).

Aplicación:

• Medición de rugosidades conforme la ISO.
• Superficies brillantes y transparentes como metal pulido, espejos, lentes, películas,….
• Tests de dureza en recubrimiento óptico.
• Escaneado de estructuras de Obleas.
• Escaneo de herramientas de corte.
• Sub Nanómetro resoluciones en superficies de cristal.

Datos técnicos:

• Tecnología de medición, interferometría de luz blanca.
• Rango de escaneo, 500 µm.
• Resolución, 1 nm VSI, 0,1 nm PSI.
• Posicionamiento, mesa motorizada 75 mm x 50 mm.