La interferometría se ha convertido en una herramienta importante y versátil para la metrología de precisión

Los interferómetros láser se utilizan en la tecnología de calibración y nano-medición para medir longitud, ángulo, vibración, rectitud, masa, fuerza y otros parámetros con la más alta resolución y baja incertidumbre de medición.

La interferometría de luz blanca es uno de los métodos de medición óptica comprobados para la adquisición de topografías tridimensionales con resoluciones de profundidad en el rango nanométrico inferior. Debido a la adquisición y procesamiento en paralelo de los puntos de medición, la información de altura se puede obtener en un área grande y en muy poco tiempo.